方案概述
在人工智能和高效能运算需求的推动下，在第四代半导体材料与芯粒技术的发展下，芯片线宽已由 70nm 迅速进入 7nm 以下时代。30nm 以下的生产过程中，痕量气态分子污染物（AMC）检测的重要性，已上升到前所未有的高度。
AMC 监测的痕量精准化、监测全面化、大数据自动分析化，AI 智能管控化理念的引入，对降低 AMC 造成的良率冲击，起到至关重要的作用。
北京博赛德科技有限公司自主研发生产的 BCT-AMC系列，半导体制程环境监测系统，涵盖在线监测、实验室分析、机台现场溯源分析等多个场景的，更多有机物物种的精确全定量分析，分析过程高度自动化与集成化，配合专用的 AMC 污染数据库与处置方案库， 在 AI 技术的加持下，真正解决品管部与微污染控制部的切实问题。
典型场景
未完待续，详见 下一篇 半导体制程厂区与设备环境 AMC 监测解决方案（二）三种模式方案介绍。
